【求助】求SiHCl3的分析方法

楼主具体检测哪些指标啊？用的是安捷伦的7890A吗？是不是让安捷伦专门设计的气相用来检测SiHCl3，SiH2Cl2，SiCl4分析的？和普通气相有区别吗？

楼主知道用什么检测器吗？

有见资料说是用TCD

这种方法基本都是保密的，或者可以在网上搜索一下，好像用硅油类的色谱柱。

最好找机会学一下方法，只有厂家培训是不行的，开发方法是一个复杂的过程。

那一般是毛细柱还是填充柱？三氯氢硅是卤代化合物，为啥不用ecd检测器？而且检测过程还有氯化氢气体，对柱子和tcd检测器都是有伤害的，不解啊

还有就是分离三氯氢硅/氯化氢/二氯二氢硅/四氯化硅可以根据其极性分离，一般是用哪种类型的色谱柱？

肯定要用TCD了，ECD是不行的。

老师能否说说原因？谢谢

不敢。ECD是针对电负性杂质的高灵敏度检测器，能到ppb及以下级别，并不适合常量分析。