【讨论】扫描电镜的真空系统问题

这个涡轮分子泵与油扩散泵，我在论坛里的帖子上有看到过相关内容，你去找找，然后整理一下吧。

基本上都能达到真空要求，扩散泵抽真空的速度慢些，意味着开机时间长，而且有油，需维护。分子泵速度快，但是贵，看你们财力了

扩散泵后期维护成本低但抽真空需要预热，关机后又要冷却，要求冷却循环水，有对真空系统污染
分子泵洁净无油无需预热无需冷却循环水但价格较贵，后期维护成本高
两者到达的极限真空度差不多

用涡轮分子泵吧，操作方便

涡轮分子泵是大势所趋了，钨灯丝的SEM，建议参考一下KEYENCE的VE-9800系列
性价比比较高

实在不好意思，太不了解这个公司了，一开始还和捷克的TESCAN搞混了。呵呵，现在的竞争太激烈。名声不大的还不加强宣传是没有活路的，不是在这里发发帖就是可以的。而是要走到广大用户中去。带着自己的产品去做现场宣传，或者把用户请到你们的演示现场来亲身体会。

对于钨丝灯电镜来说，真空系统一般由油扩散泵向涡轮分子泵进化。真空系统是油扩散泵的电镜，预热时间大概20多分钟，而且还需要加装水槽。样品室有时会受到污染。真空系统是分子泵的电镜，预热时间只要几分钟，不需要加装水槽。关机的时候不需要像油扩散泵的电镜那样需要等20多分钟。

涡轮分子泵的确是贵，但是非常方便干净，后期维护后。我是专门搞电镜修理的。

各有优点，扩散泵开机关机需要等待，但维护便宜，分子泵价格贵，维护价格也贵，两者极限真空差不多，如果有钱也不愁后期维护费用就选分子泵