【求助】EDS如何半定量或者定量分析？

TEM-EDS一般就是无标样校正，因为TEM-EDS标样似乎国内还没有，即使有了，样品的厚度也很难确认，是个难题。

未必是仪器校准的问题。可能是厚度参数设置得太大了，改小一些。另外，看看实验条件相关的参数是不是设置的是TEM分析模式，如果搞成SEM那就很离谱了。

EDS本來就不是拿來做定量分析

只能做定性分析~

如果你要做準確的定量分析請用ESCA

EDS的較正有分兩種

1.標準試片較正法

2.理論計算

詳細內容請參考surface analysis (Vickerman)

请问楼上的朋友，台湾有TEM的EDS标样吗？

那個通常是自己做~

TEM的EDS分析不太需要考慮試片厚度問題

(即不太需要考慮absorption effect)

在計算上只考慮原子序,correction angle,radiation effect

可TEM-EDS定量理论应该是基于样品为薄样品的前提啊，那么这个厚度的范围可以在多大范围内使薄样品的前提成立呢？

看来还是没有解决的办法，但是我就是一直奇怪国外用的那台电镜怎么出来的EDS结果可信呢。也没有见人家整天标定。

是不是设定的计算方法有问题呢？

至於定量結果可不可信~要看你輸入多少環境參數~

考慮的越多~會越準確~但也越麻煩

此外~還需考慮你出來的數據合不合理~

低於5 wt%的數據可能都是錯的~含量越低可信度也越低~