请教：氩离子刻蚀后样品的荷电问题如何解决？

电子枪中和

用电子枪中和了，电子束0.025mA，仍然很长时间不能够稳定。

你可以调节中和枪的电压啊!你们用多少的电压?

你的问题我遇到过，有两个比较有效的方法：1）用双阳极，位移要小的多；2）在刻蚀动作后面，采谱前设定一定的等待时间，还加个flood gun控制

我觉得您说的不对,因为我就刻蚀的时候应该用什么枪问过工程师,他告诉我说;因为一般来说,刻蚀的面积小要比双阳极扫的面积小,所以可能你双阳极打出来的区域就没有刻蚀,一般来说还是用单色器.通过调节电压来降低荷电位移.

呵呵,您其实也不必用这两个表情的,其实您对xps懂的那么多,应该是我感到 ,只不过是这个问题我刚刚问了工程师.凑巧会的.以后还要向您学习

小兄弟，以前的XPS没有装备单色器，他们一样刻蚀的。] 明白啦吗？

哦，是这样的，但是我觉得哪个可能有误差啊！