【求助】varian ICP（720）点火失败，报错是冷却空气流量不足，怎么办？

我过去用的vista-pro也发生过，我就是打开前面面板，有个冷却空气流量监控器，你看看是不是堵了或者过滤网（设备内部）上灰太多了

720es不太好卸，我卸过，特别是前面面板，要注意等离子室门的角度，45度左右

以前没看过别人拆，所以不敢动啊，要是出了问题或危险也不值得，看来报修是必须的了！

我们的型号不一样，工程师说是冷却空气监控器有问题，VARIAN的我没拆过，PE的我可以搞定!

那就检查气路方面的原因，看看是不是哪里堵住了。
仪器有了问题，自己先确认排除部分原因，免得工程师过来。

应该不是堵了，我想不出，以前PE的也会点火困难，维护下空气监控阀就可以了，因为空气中的粉尘什么的堵住了，现在是知道堵了，可VARIAN 的我没看工程师拆过，所以不会！

与工程师联系。

我报修了，现在Agilent和VARIAN合并，开始精简客服的人员，人手不够，电话工程师说流量阀可能需要维护（我也知道啊，关键是怎么拆啊，以前工程师也没来拆过啊），所以想知道有谁拆过，不难的话我就自己干！要是有危险或者损坏仪器的话就算了。

应该是哪个地方被灰尘堵住了