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【求助】JSM-6701F问题请教

扫描电镜(SEM/EDS)

  • JSM-6701F问题请教
    我们单位09年购置的JSM-6701F场发射扫描电镜现在真空抽不上去,偶尔能抽上去但开机后几分钟真空又突然急剧下降,现在机子瘫痪一个多月了
    请高手支招,多谢
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  • fengyonghe

    第1楼2011/02/21

    要弄清是哪一级真空上不去,按你说的情形是离子泵问题的可能性大。

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  • wdwsnnu

    第2楼2011/02/21

    多谢,我们已经检漏了排除漏气可能性,泵没问题,今天还抽到了最好状态,不过真空度很快又降下来了

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:要弄清是哪一级真空上不去,按你说的情形是离子泵问题的可能性大。

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  • unht

    第3楼2011/02/23

    还有这种情况...不清楚...

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  • m520j

    第4楼2013/09/26

    电镜不能关机时间太长,不行的话就重新启动一下真空泵~~~试试~~~

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  • lizhenhua98

    第5楼2013/09/28

    试试在密封圈上涂点真空硅脂吧,不要多涂。

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  • 书生人家

    第6楼2013/10/15

    是不是没加液氮的问题,我的机子也碰过这样的问题,一直都加了液氮,但如果机子里的液氮没有了,可能会导致掉真空。加了液氮后,真空能很快抽上去的。

    wdwsnnu(wdwsnnu) 发表:JSM-6701F问题请教
    我们单位09年购置的JSM-6701F场发射扫描电镜现在真空抽不上去,偶尔能抽上去但开机后几分钟真空又突然急剧下降,现在机子瘫痪一个多月了
    请高手支招,多谢

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  • 胖胖熊

    第7楼2014/05/12

    样品室密封圈是不是老化了

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