【资料】直读光谱出入射狭缝简介

很好的东西，应该经常学习。

谢谢LZ分享

目前针对光谱仪的狭缝加工，有三种加工方式：
1、显微镜下手工拼缝 此种加工方式简单，精度控制好，但是产量低，不适合生产批量化。

2、化学蚀刻狭缝 此种工艺主要用化学药品进行狭缝的蚀刻。蚀刻工艺生产成本低，但是加工方式繁琐，对环境污染性大，加工产品一致性不好。

3、激光加工 激光加工是用窄脉宽皮秒激光进行狭缝的加工，加工精度最高可以控制在±1um，加工最小缝宽15um，而且激光加工后无需后续处理，狭缝平行度高，边缘光滑无毛刺，一致性好。

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