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【分享】美国泽塔zeta 200 3D光学轮廓仪/三维显微镜

algous

2011/03/25

扫描探针显微镜SPM/AFM

Zeta 200自动三维测量系统
Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。
· 自动多点、多配方测量样品
· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围
· 粗糙表面成像与分析
· 金属栅线形状与尺寸测量
· 防反射膜及光刻胶厚度分析
· 真空吸盘保证样品定位一致
· 本色三维成像
· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量
Zeta 200特色功能
1.多点测量用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。
2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。
3.自动形貌特征测量用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。
标准系统配置
显微镜系统
光源：高亮度白光LED
物镜：5x,10x,20x,50x,100x
耦合透镜：0.5x
自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围
Z轴：30毫米纵向驱动范围
数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD
计算机控制系统
处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）
随机存储器3GB
硬盘驱动器：320GB
显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素）
Zeta 三维测量软件
实时视频成像
快速数据采集（每处<1分钟）
三维表面浏览：
倾斜，旋转，缩放，过滤•
体积计算
二维表面分析：
特性尺寸，直径，面积
图案间距，标准偏差
表面粗糙度
区域平均台阶高度
轮廓测量
台阶高度与粗糙度
多横截面分析
平均值测量标尺
倾斜度与表面波度补偿
阵列式采样序列
自动数据与图像输出用于生产线SPC

附件：

Zeta_200_Brochure_Chinese_A4.pdf

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yuduoling

第1楼2011/03/26

附件是什么?使用手册吗?

0

分
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unht

第2楼2011/03/26

数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD
放大倍数是多少？

0

分
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algous

第3楼2011/07/24

最大放大倍数可达34500倍

0

unht

第4楼2011/07/29

能放大3万多倍啊，跟有些扫描电镜都差不多了...

0

algous

第5楼2011/07/29

放大倍数和电镜还是不在一个数量级，区别电镜主要在其Z轴方向的测量以及真实色彩。

0

wenzhonghui

第6楼2012/03/22

请问和基恩士激光扫描显微镜VK-X200比有什么不同啊,感觉VK功能强很多

0

littlebean

第7楼2012/03/30

哎。太多的实验室和研究所买了高级的设备但是没有真正的发挥啊~

可怜的中国科研。

0

上海巨纳

第8楼2012/07/10

请问你这款zeta200 3D光学轮廓仪的原理是什么呢？你提到光源是白光，波长为多少呢？可操作性如何？重复性可以达到多少？在哪些领域里有着较广泛的应用？能否详细说明一下

0

上海巨纳

第9楼2012/07/10

这款设备的价格大概是多少？

0

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