扫描电镜（SEM/EDS）
常怀千岁忧
第1楼2006/02/10
中科院光电所好像有的，不过是配合sem做光刻的
奔跑的蜗牛
第2楼2006/02/10
500nm不算太精密了吧,你要做哪方面的加工,可以具体一点说吗,不然的话没法说,要单是光刻方面的SEM配上电子束曝光附件就可以了.
foxjoe
第3楼2006/02/14
楼上，我是要做电子束修调，用于芯片维修，类似于激光修调(laser trim)设备，用来烧断芯片表面的铝引线，厚度1um，宽度0.5um，定位精度优于0.25um，不是用来曝光的光刻机
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