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EDS问题

hongdesky

2011/08/24

扫描电镜（SEM/EDS）

各位大家好！小弟有个问题想请教大家,今天用3400的SEM做能谱分析的，由于样品是不导电的，所以就在低真空下打能谱，但听说在低真空下做能说分析，测出来的数据不太准确，于是又在高真空下做能谱，但可能由于样品不导电，在打能谱的时候发现图象有移动，不知图象移动了，对能谱打出的结果是否还准确。（本人担心就是，打能谱的时候由于图象移动了，导致打的点不再是原来的那个点），不知大家有没出现这样的现象？还有就是其实图象移动了，那是否说明样品被移动了呢？期待高人答复~~~~谢谢~~

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fengyonghe

第1楼2011/08/25

样品积累电荷会产生静电场，使电子束漂移，测量点改变，测量结果不准确。

0

小M

第2楼2011/08/25

应助达人

低真空对能谱有什么影响呢？

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guoquany

第3楼2011/08/29

图象移动了，就不是原来的位置了，能谱打出的结果不准确了
hongdesky(hongdesky) 发表: 各位大家好！小弟有个问题想请教大家,今天用3400的SEM做能谱分析的，由于样品是不导电的，所以就在低真空下打能谱，但听说在低真空下做能说分析，测出来的数据不太准确，于是又在高真空下做能谱，但可能由于样品不导电，在打能谱的时候发现图象有移动，不知图象移动了，对能谱打出的结果是否还准确。（本人担心就是，打能谱的时候由于图象移动了，导致打的点不再是原来的那个点），不知大家有没出现这样的现象？还有就是其实图象移动了，那是否说明样品被移动了呢？期待高人答复~~~~谢谢~~

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shamoxiongshi

第4楼2011/08/30

图像移动了，当然就不准了。

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非动量守恒

第5楼2011/08/30

虽然是高真空，但可以采用较低的电压和背散射探头成像，这样效果成像效果会好一点。在这个条件下再打成分试试。

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