用XRF如何测量某一点，微区（如1mm2）的原素含量？

现在在XRF应用领域对微区的测试是开始有很多需求了，目前我了解的国，内外产品准直孔一般最小做到了直径0.1mm,光斑直接可以做到0.2左右，对于你测试1mm2的微区问题不大。关键是看你测试微区的情况，是平板，凹槽，还是什么特殊的外形，还有对测试时间要求。这样多个方面才能确认能不能做你的测试。

但是国内的最小是6mm（帕纳科）。
电子扫描显微镜是不是能做到？

不可能的，怎么可能最小是6mm,那可能是你了解的产品量不够，你尽量去讯问一下镀层行业的仪器，因为现在镀层行业的仪器可以测试电路板上元件引脚的镀层厚度，所以，对你的要求肯定能达到。

6mm的不叫微区，布鲁克还有5mm的样品杯呢。

微区的大小是指原级X射线光斑的大小，需要专门的仪器的，与通用型的XRF仪器不一样。
有厂商宣传自家的WDXRF仪器具有微区分析功能，目前为止还没有该功能除了厂商的宣传外，还没有哪个单位真正把这个功能用好，不知道这个功能仅是一个噱头呢还是怎么回事。没见过就这一功能发表的论文。

Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.

以上是来自日本厂家的一段产品介绍，大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小（这是我见过的最小的），还说到了滤光系统。具体采用的什么技术，我还是很清楚，估计要采用类似一个导管一样的装置，否则怎么能做到这么小呢？

顺被问一下，楼主要测试什么样品，有什么测试要求呢？

对不住刚才少写了一个不，我是想说，具体采用什么技术做到1.2mm，我还不是很清楚，如果有知道的朋友，请与大家分享。多谢！

本公司是生产平板玻璃的，玻璃缺陷非常小，我们想测试缺陷的元素成分，以便判断缺陷的产生位置。

XRF常用在玻璃（融片法）测试玻璃种主要及次要元素如铝、钙、镁、铁、钛、钾、钠、砷等，关于楼主所说的缺陷部分元素分析，我之前没有遇到过（才疏学浅，见谅）。楼主是专业人士，能否告知：通常情况下缺陷是有哪些元素引起的？这些元素含量范围在多少？如果能确定以上两个问题，基本可作为依据判断是否能用微区XRF进行测试。

我也不算专业，只是略知一二。通常构成缺陷的元素有锡、锆、硫、钠、铝、硅等，含量范围（由于缺陷占测试面的大小不定）不好确定。