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spot size 的大小调整

  • chasedream
    2011/10/17
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 在做扫描电镜时,如何来调整spot size 的大小,SS的大小对图像质量有什么影响?对能谱分析结果有什么影响?
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  • fengyonghe

    第1楼2011/10/17

    spot size在扫描电镜中也是一个很重要的参数。冷场电镜比热场电镜的束斑小,更比钨灯丝的小,所以在观察图像时钨灯丝电镜更需要注意SS的调整。我们用人眼的分辨率0.3mm计算一下SS的调整。1000倍下SS要小于0.3mm÷1000=300nm ,同理10000倍下要小于30nm ,100000倍下要小于3nm 。屏幕的分辨率也要与之相适应才能得到清晰地图像。如果不满足上述条件图像就会模糊。研究表明,人们只有当图像叠加两个以上像素的时候,才能感觉到模糊。我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率,该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。对能谱的影响看http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111011/3581588/

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  • unht

    第2楼2011/10/30

    100000倍下要小于3nm, 这么小?

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  • fengyonghe

    第3楼2011/10/30

    钨灯丝6nm,热场3nm,冷场1nm

    unht(unht) 发表:100000倍下要小于3nm, 这么小?

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