扫描电镜（SEM/EDS）
fengyonghe
第2楼2011/11/03
从图像看放大倍率要大于10000倍，这样的放大倍率钨丝、热场、冷场均可。结合还需要做EDS，应该选热场。看图像要选小束斑，做EDS要选尽可能大的束斑，放大倍率几十倍、几百倍均可。用扫描方式采谱，死时间不大于40%，加速电压5-10千伏。如果两次EDS结果相差太大，还需要进一步加大束斑，在软件不能进一步调整加大时，调整图像使其散焦再EDS。测试结果用归一化结果，因为我没有建议你做最优化。
laying3
第3楼2011/11/03
楼上的老师解答的很详细。谢谢您。
小M
第4楼2011/11/03
那两张图片是文献上的吧？你把清晰的图片给操作人员一看，他就知道该怎么调参数了
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