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SE和BSE对成分分析的影响

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 大家好，我用两种不同的信号，一种是二次电子，另一种是背散射电子，用这两种信号，做EDS得出的成分相差很大。请问是什么原因呢？working distance都是10
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    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第1楼2011/12/08

    希望把这两种模式的谱图和结果发来看看。因为EDS收集的是X线光子，即不使用二次电子也不使用背散射电子。这两种信号总是同时存在的，只是用了不同的探测器而已。

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  • 小M

    第2楼2011/12/08

    应助达人

    可以把两个谱图都发上来看看

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  • unht

    第3楼2011/12/08

    这个确实只有看到你的谱图才可以分析

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  • ventyxu

    第4楼2011/12/08

    我们做EDS分析，主要是针对某个点、某个区域来进行成分分析。而与影像（SE或BSE）没关系。我不清楚您在分别使用不同影像做成份分析的时候是否在同一个点、同一个区域。如果您还是有疑问的话那就做个面扫描，看看有没有差别。

    luyu0927(luyu0927) 发表:大家好，我用两种不同的信号，一种是二次电子，另一种是背散射电子，用这两种信号，做EDS得出的成分相差很大。请问是什么原因呢？working distance都是10

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  • shamoxiongshi

    第5楼2011/12/12

    能谱主要接受的是X射线，与二次电子和背散射电子信号没有任何关系。

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