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请教：场发射扫描电镜可以做显微偏析吗？

huang150429

2006/04/06

透射电镜（TEM）

我正在做材料的显微偏析（S和P）,去年我用EPMA做，可是EPMA的成像不好（比不上扫描电镜），我没办法分辨微区（几个微米左右），另外材料中S含量很低，只有几十个ppm左右，SEM打不出来。我想问问大家，我这种情况，用场发射扫描电镜可以实现吗？如果不行，还有什么其他的方法可以实现啊？谢谢，我就靠这个博士毕业呢，呵呵。。。

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tem_abc

第1楼2006/04/06

在最佳的实验条件下，能谱的最低探测极限在0.01-0.1%上下，离ppm还有些距离，想点其它的方法吧。如果你可以制成TEM样品，也许可以试试电子全息。半导体里几个ppm的参杂可以用这个方法观察到。
huang150429 发表:我正在做材料的显微偏析（S和P）,去年我用EPMA做，可是EPMA的成像不好（比不上扫描电镜），我没办法分辨微区（几个微米左右），另外材料中S含量很低，只有几十个ppm左右，SEM打不出来。我想问问大家，我这种情况，用场发射扫描电镜可以实现吗？如果不行，还有什么其他的方法可以实现啊？谢谢，我就靠这个博士毕业呢，呵呵。。。

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