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关于电镜的发射电流,探针电流以及光阑大小之间的关系

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 各位大侠,我用的是日立3400的,有几个问题探讨下啊,

    众知,3400热发射,电子枪的发射电流(运动的电子)经过静电场,磁场聚焦减小束斑尺寸,并通过改变光阑大小过滤远轴电子以降低球差,但这个过程带来的结果可能是电子束流降低,但问题来了:我在使用过程中发现,当加速电压和偏压不变时,即发射电流不变,此时改变光阑大小,束流却没有变化,按道理束流应该会改变,不知者内部机制是什么?希望高手们来讨论和解答啊,拜谢。。

    另外,现在电镜比较关注低压模式的分析效果,但我在使用过程中发现,使用低压模式时(3KV以下),发射电流<探针电流,按照原理发射电流经电磁透镜层层聚焦以及光阑的过滤,发射电流应该始终大于探针电流,为什么出现这一相反现象呢,望高人解答啊、。
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  • asahi42

    第1楼2012/04/10

    LZ的束流、发射电流、探针电流分别如何得到?
    是否:束流=发射电流=Vacc右边的那个Ie?
    探针电流用法拉第杯测得?

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  • zhadaoan

    第2楼2012/04/13

    解释下:上文中发射电流是emission current,束流=探针电流:probe current,我是想:电流定义就是单位时间能通过的电量。这样算的话,如果没有光阑过滤远轴电子,在理想的情况下,探针电流=发射电流,有光阑遮挡时,单位时间内通过的电量不就降低了,但灯丝发射没变,不就是探针电流
    晚辈想多了解电镜,还望您不吝传教啊,谢谢了,呵呵

    asahi42(asahi42) 发表:LZ的束流、发射电流、探针电流分别如何得到?
    是否:束流=发射电流=Vacc右边的那个Ie?
    探针电流用法拉第杯测得?

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  • zhadaoan

    第3楼2012/04/13

    探针电流不是显示的那个probe current吗?

    asahi42(asahi42) 发表:LZ的束流、发射电流、探针电流分别如何得到?
    是否:束流=发射电流=Vacc右边的那个Ie?
    探针电流用法拉第杯测得?

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  • asahi42

    第4楼2012/04/14

    看图说话吧。首先声明一下,不管是老版还是新版,S-3400N和S-3700N操作界面都是一样的。

    界面中两个红圈里的Emission Current,称为“发射电流”,也是一个显示值,从0~255之间不等,单位为μA,应该是从灯丝出发直至物镜可动光阑上部的束流强度;绿圈中的Probe Current,字面意思为“探针电流”,可调节,0~100只是一个调节范围,没有单位,并非实际束流值。
    精确的束斑直径没有一个明确的数值,只能通过分辨率来推算。

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:探针电流不是显示的那个probe current吗?

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  • zhadaoan

    第5楼2012/04/15

    谢谢您的解答,图文并茂啊,呵呵,这下我明白了,显示真实值的也就那个emission current,里面的probe current 那个值也就给用户提供个对比参照数据,真实值还得法拉第杯测量,即使如此,如果改变emission current,Probe current应该会变化的吧?还有,能问下3400,3700,6400中有几级聚光镜啊,聚光镜下有没有光阑啊,我们这是3400的

    asahi42(asahi42) 发表:看图说话吧。首先声明一下,不管是老版还是新版,S-6400N和S-3700N操作界面都是一样的。


    界面中两个红圈里的Emission Current,称为“发射电流”,也是一个显示值,从0~255之间不等,单位为μA,应该是从灯丝出发直至物镜可动光阑上部的束流强度;绿圈中的Probe Current,字面意思为“探针电流”,可调节,0~100只是一个调节范围,没有单位,并非实际束流值。
    精确的束斑直径没有一个明确的数值,只能通过分辨率来推算。

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  • asahi42

    第6楼2012/04/15

    呵呵,按照界面来看,调节"Probe Current"选项,"Emission Current"显示值会随之改变;而在机械上,只要Emission Current(束流)发生变化,Probe Current(探针电流)肯定会变化的~
    3400和3700各有2级聚光镜,聚光镜内有聚光镜光阑,聚光镜下是物镜可动光阑。6400这个机器。。。没见过,难道是6600的前身?那可是低真空冷场发射了。。。

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:谢谢您的解答,图文并茂啊,呵呵,这下我明白了,显示真实值的也就那个emission current,里面的probe current 那个值也就给用户提供个对比参照数据,真实值还得法拉第杯测量,即使如此,如果改变emission current,Probe current应该会变化的吧?还有,能问下3400,3700,6400中有几级聚光镜啊,聚光镜下有没有光阑啊,我们这是3400的

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  • zhadaoan

    第7楼2012/04/15

    这么好的天,也没出去散散心呐,哈哈~~·6400我也没听说过,刚才看到您回复我帖子中听到的,呵呵,低真空冷场,冷场还能低真空啊,我之前用过日本电子的冷场无灯丝,真空度很高的啊,还有您说调emission时,probe变,能理解,可调probe,emission变,我就困惑了,调probe时,本质上调的是电镜中哪些量啊,聚光镜激励电流?聚光镜光阑?物镜激励电流?物镜光阑一般是选好的在那,物镜激励电流调节其实现实的就是工作距离调节,这么一分析,调probe就可能是调聚光镜激励电流或者其光阑了,但一般聚光镜内部光阑都是对中好的吧,调其光阑可能影响其机械对中,再说也不一定中心对称连续可调,感觉很难实现,那就只能是激励电流了。以上是猜想分析,求证下啊,前辈~~~

    asahi42(asahi42) 发表:呵呵,按照界面来看,调节"Probe Current"选项,"Emission Current"显示值会随之改变;而在机械上,只要Emission Current(束流)发生变化,Probe Current(探针电流)肯定会变化的~
    3400和3700各有2级聚光镜,聚光镜内有聚光镜光阑,聚光镜下是物镜可动光阑。6400这个机器。。。没见过,难道是6600的前身?那可是低真空冷场发射了。。。

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  • asahi42

    第8楼2012/04/15

    我回看了以下,猛然发现我竟然把基本的机器型号都打错了。。。掩面更正。。。
    低真空冷场就现在的Hitachi SU-6600还在使用。
    呵呵,也许我把问题搞复杂了。调Probe Current的时候,调节的是聚光镜线圈通过电流,改变其励磁强度。您的分析非常准确。

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:这么好的天,也没出去散散心呐,哈哈~~·6400我也没听说过,刚才看到您回复我帖子中听到的,呵呵,低真空冷场,冷场还能低真空啊,我之前用过日本电子的冷场无灯丝,真空度很高的啊,还有您说调emission时,probe变,能理解,可调probe,emission变,我就困惑了,调probe时,本质上调的是电镜中哪些量啊,聚光镜激励电流?聚光镜光阑?物镜激励电流?物镜光阑一般是选好的在那,物镜激励电流调节其实现实的就是工作距离调节,这么一分析,调probe就可能是调聚光镜激励电流或者其光阑了,但一般聚光镜内部光阑都是对中好的吧,调其光阑可能影响其机械对中,再说也不一定中心对称连续可调,感觉很难实现,那就只能是激励电流了。以上是猜想分析,求证下啊,前辈~~~

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  • zhadaoan

    第9楼2012/04/15

    哈哈,谢谢夸奖啊,继续学习,以后多多提点哈

    asahi42(asahi42) 发表:我回看了以下,猛然发现我竟然把基本的机器型号都打错了。。。掩面更正。。。
    低真空冷场就现在的Hitachi SU-6600还在使用。
    呵呵,也许我把问题搞复杂了。调Probe Current的时候,调节的是聚光镜线圈通过电流,改变其励磁强度。您的分析非常准确。

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  • gohope

    第10楼2012/04/15

    有的品牌SEM软件上明确显示发射电流值,束斑电流值以及束斑直径数值的。

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