分流流量不能保持的原因

昨天下午仪器突然报警 查看时发现分流流量远低于设定值， 当时采用分流进样 分流比是50:1 柱子流量是1ml/min
但是实际分流流量下降到 3ml/min

流量是上升啊？

是不是10ml/min
概念有点不清楚。

开个小分流能保持吗？比如1:5？

你气源的总流量够吗？

流量一直是1ml/min
分流比50:1 正常情况下分流流量是50ml/min
但是故障出现后下降到3ml

开极小分流比比如1:1 1:3 可以保持 但是无法进样

气源总流量足够 用流量计测试过了

是不是有泄漏点？

最容易出问题的衬垫 衬管 柱头石墨垫 金密封件都检查了 没有漏气 更换了以上零件 情况依然没有改变
不会是EPC或者solenoid阀出问题了吧？ 头疼

安采用的是分流板技术，一次浇涛成形，泄漏的可能性不大，EPC本身就包括气路和电路部分，流量调节许多采用的是热导或微流传感器技术，检查几乎不可能到位。况且本身流量就很低。

你现在主要是检查了几个节点，下面就是对几个节点进行压力和流量监控，找出那一段可能出现问题，这法子虽然“笨”了些，但比满世界找要好一些，就用分段排它法。肯定是有原因的，EPC固件损坏的可能性较小，找程序或电路板原因。

纯属个人观点。