【原创】傅里叶红外光谱仪的透过率指标到底是多少？

晶圆的检测标准中
透过率是在正负0.5％以内

是不是原理不一样，表达方式也不一样?还是因为主要作为定性，大家不关注这个？

1.做定量分析的少
2.论精度，但透射比重复性达到万分量级基本很容易。
论准确度，傅里叶红外光谱仪是非线性光路系统，从原理上讲，略微逊色于色散型。但傅里叶光谱仪信噪比比色散型好很多，只要将傅里叶光谱仪透射比校准了，基本可以全部超过色散型，这也是当前傅里叶为主流的原因。

至于如何校准，有现成的国家红外透射比标准物质GBW(E)130391，校准一下就OK了（准确度到0.003）。

如上所述，测试镀膜透过率用双光束红外分光光度计跟傅里叶红外光谱仪比较，结果会相差多少呢？

如果都校准过了，误差控制在0.003以内应该没问题。

校准前，双光束红外分光光度计的指标我还真没测过。。。。
校准前，不同厂家傅立叶之间的差异还是不小的，差个0.01不稀奇。。。

我们光栅型红外光谱仪的透过率有国家标准的测试方法：即用透过率扇板，原理就是在一个圆周上挖去一部分缺口，形成圆周的10%，30%，50%，70%，90%，几档圆板，当然应该有个计量标定，精确到0.01%，再用高速电机带动圆板旋转（3000转/分），把那个缺口置入样品光路里，透射比精度就出来了。

透过率板的确可以标定光栅型，假如转速设定较好不产品拍频的话，指标没问题
不过，如果用扇板校准傅里叶的问题就大了，那个拍频啊，大得吓人

虽然没试过红外，不过我倒是用扇形盘试过光栅可见近红外的光谱仪，拍频还是有的，虽然拍频导致的不确定度大概1%左右，但还是不小的。
这个我不太明白，想请教一下：双光束里面一般都有斩波的，既然能精确到0.01%，你如何使得你的扇形盘转动和斩波之间不产生拍频呢？或者，如何将这个因素控制到0.01%以下的水平？