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急:有接触过FEI的Quanta 3D FEG的同仁进来指点一下啊!

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们单位有一台Quanta 3D FEG的扫描电镜,一个月前出现一个故障,具体描述如下:因为是场发射的,所以一般周末时灯丝也是点着的,一个月前的一个周一,打开显示器一看,右下角显示真空状态的图标,电子枪部分显示为灰色,见附图,当然电子枪真空出问题了,灯丝也就自然降为零了,观察日志显示时FGSU通讯故障。然后把电子枪真空抽上,也就2分钟就抽好了。前几周一般都是每个周末出现一次,偶尔工作日会出现一次,总之这一个月出现了6-7次了。打电话问工程师,工程师让我注意后面电源柜的通风散热,我把电源柜的后盖也打开了,屋内空调一直在22度左右,也感觉不到散热不好,现在就是不知道原因。后来又打电话问了另一个工程师,说怀疑时离子泵的电源有问题。
    哪位高手有遇到过这种类似的问题啊,帮忙指教一下啊,急啊。心里纠结。
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  • 小M

    第1楼2012/08/20

    应助达人

    FGSU通讯故障,没有遇到过

    是不是真空的问题,可以在无人的时候,打开监测真空的软件,记录下log,上班时查看,再看真空和关灯丝之间是否有联系

    参考一下这个帖子,忽略蟑螂。http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111209/3701360/

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  • 小M

    第2楼2012/08/20

    应助达人

    可以把Status那里单独一张图贴出来吗,LOGO把内容挡住了,看不清

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  • schokolade38

    第3楼2012/08/21

    请楼主 把IGP1 ,IGP2 的真空度 提供一下, 还有 ,周末时样品室 抽真空了吗?

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  • wyy23477

    第4楼2012/08/22

    楼上说的IGP1 ,IGP2 的真空度,是电子枪真空掉了之后的真空度吗?还是仪器真空正常时的真空度啊?另外,我们实验结束时样品室是真空状态的。
    Status图:

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  • wyy23477

    第5楼2012/08/22

    我们正常工作时:上离子泵是:1.9*10-7Pa左右,下离子泵是3.0*10-5Pa左右,样品室是10-4Pa左右,有时真空掉了之后显示是0,有时由于通讯问题真空还是保持,但是此时Beam ON也是开不了,再重新启动一下之后,真空显示就是灰色了,没有真空值了。
    右下角Status:

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  • wyy23477

    第6楼2012/08/22

    请问一下二楼,真空监控的软件是工程师界面的吗?工程师都不给我们密码啊?你们怎么得到的啊?传授一二

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  • schokolade38

    第7楼2012/08/22

    把鼠标 放到 变灰的镜筒位置 就可以看到 IGP值, 真空应该 还好 , APP STATUS 里有 FGSU 和 LENS 的 INTERLOCK 问题, 可能会有两个原因造成:
    1.枪真空,虽然IGP 数值还好,但如果 IGPD(IGP 的 的电源)输出不稳定的话 , 枪真空也会突然异常。
    2.在高压帽(HT CAP) 和FGSU 上各有一个压片感应SENSER ,检查一下是否压到位

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  • schokolade38

    第8楼2012/08/22

    下次再有真空没问题, 而灯丝掉了时, 进 TSTMD FEG GUN 离看一下左上角FGSU PUC 的状态是OFF 还是LOST , 如果不知道工程师密码请问你的所属工程师

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  • wyy23477

    第11楼2012/08/24

    请问七楼,
    [把鼠标 放到 变灰的镜筒位置 就可以看到 IGP值, 真空应该 还好 , APP STATUS 里有 FGSU 和 LENS 的 INTERLOCK 问题, 可能会有两个原因造成:
    1.枪真空,虽然IGP 数值还好,但如果 IGPD(IGP 的 的电源)输出不稳定的话 , 枪真空也会突然异常。
    2.在,检查一下是否压到位]
    如果是第一个问题,离子泵电源输出不稳定,我们应该怎么检查呢?确定它的稳定性;
    第二个问题,高压帽(HT CAP) 和FGSU 上压片感应SENSER 的位置能不能帮忙给附张图啊,刚接触这台电镜不是很久,不知道位置在哪?先谢谢了,帮帮忙啊!

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  • schokolade38

    第12楼2012/08/25

    1.在室温稳定情况下,长时间观察真空读数,看其是否是在线性,有规律的变好或变差,包括关掉HV 和 打开 HV 两种状态,在TST MD VACUUM 里有一项叫GAUGE LOG ,可以定时自动记录真空数,对你很有用。
    2.好的,我拍个图片给你~

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