小M
第1楼2012/08/20
FGSU通讯故障,没有遇到过
是不是真空的问题,可以在无人的时候,打开监测真空的软件,记录下log,上班时查看,再看真空和关灯丝之间是否有联系
参考一下这个帖子,忽略蟑螂。http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111209/3701360/
wyy23477
第11楼2012/08/24
请问七楼,
[把鼠标 放到 变灰的镜筒位置 就可以看到 IGP值, 真空应该 还好 , APP STATUS 里有 FGSU 和 LENS 的 INTERLOCK 问题, 可能会有两个原因造成:
1.枪真空,虽然IGP 数值还好,但如果 IGPD(IGP 的 的电源)输出不稳定的话 , 枪真空也会突然异常。
2.在,检查一下是否压到位]
如果是第一个问题,离子泵电源输出不稳定,我们应该怎么检查呢?确定它的稳定性;
第二个问题,高压帽(HT CAP) 和FGSU 上压片感应SENSER 的位置能不能帮忙给附张图啊,刚接触这台电镜不是很久,不知道位置在哪?先谢谢了,帮帮忙啊!