氧化膜截面EBSD样品制备问题

应助达人

你能想到和尝试过的办法比我能想到的多多了……

抛光的确可以把样品表面处理的非常平坦，但是EBSD光靠平坦是远远不够的，它必须要求有晶形。振动抛光很容易在样品表面打出很薄的非晶层，这样EBSD是很难出好的菊池线的。至于具体的更好的方法么。。。让我再多看点书~

EBSD样品制备新方法——氩离子抛光技术
进行抛光时，可以首先利用高电压将应力层去除，再利用低电压将非晶层减薄、修整表面，整个过程所用时间非常短。对于易于发热的样品，可以通过液氮实时控制样品室温度，一方面可以避免样品发热对实验数据产生的影响，另一方面可以极大提高样品的 EBSD标定率。同时配备的交换舱，不必等到液氮全都挥发后更换样品，可以极大缩短更换样品的时间。氩离子抛光对于晶粒特别细小、多相材料及极易氧化材料做 EBSD检测时的样品制备具有极大的优势，被广大 EBSD用户公认为最佳 EBSD样品制备方法。