请问XRF,EDX,EDS它们之间是什么关系？有何区别？

XRF是通过不同波长区分元素的，EDX是通过不同能量区分元素的，这两者的结构完全不同。

XRF指的是X射线荧光光谱仪；EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF；EDS是能谱仪。

X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)

XRF的原理：X射线是电磁波谱中的某特定波长范围内的电磁波，其特性通常用能量（单位：千电子伏特，keV）和波长（单位：nm）描述。X射线荧光是原子内产生变化所致的现象。一个稳定的原子结构由原子核及核外电子组成。其核外电子都以各自特有的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子（如K层）在足够能量的X射线照射下脱离原子的束缚，释放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应当电子空位。这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来填补相应当电子空位。由于不同电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来，不同的元素所释放出来的二次X射线具有特定的能量特性。这一个过程就是我们所说的X射线荧光（XRF）。

XRF的应用

a) X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。

b) 每个元素的特征X射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量。

c) 根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。

优点:

　　a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

　　b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。

　　c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

　　d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

　　e) 分析精密度高。

　　f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

　　缺点：

　　a）难于作绝对分析，故定量分析需要标样。

　　b）对轻元素的灵敏度要低一些。

　　c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。

能谱仪EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析。
　　原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。
　　与WDS(Wave Dispersive Spectrometer)波普仪相比具有以下优缺点： 优点:
　　（1）能谱仪探测X射线的效率高。
　　（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，

在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

　　（3）结构简单，稳定性和重现性都很好
　　（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。