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哪种神器能做到这个程度的数值

ICP-MS

  • 今天和一个朋友聊天,提到一些数值,看完就凌乱了:

    B 《X00ppt 3-5
    P 《X00ppt 9-14
    Fe 《X000ppt 48
    Cr 《X00ppt 10
    Ni 《X500ppt 5
    Cu 《X00ppt 2
    Zn 《X000ppt 6
    Na 《X000ppt 17

    后面的类似“3~5”,单位也是ppt。亲们,这个是硅中的实测值噢。。。。

    会是哪种神器测试出来的呢,特别是B/P

    金属在特别干净的环境和特别低本底的试剂中,也许能做得到吧?
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  • wanttofly

    第1楼2012/09/04

    这是原始数据还是样品中数据?会不会经过浓缩测定算出的实际数据呢

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  • envirend

    第2楼2012/09/04

    应助达人

    没有完全看明白,是说仪器测定竟能能分析出如此低浓度的数据吗?

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  • 诚信

    第3楼2012/09/04

    试剂用超纯的HF酸和硝酸(一般用日本的TAMPURE,规格金属含量小于10ppt),水用默克密理博的超纯水机另加一个除硼柱,制出来的水金属含量也小于10ppt),然后该操作都要在至少千级的实验室完成即可。这个数据半导体多晶硅实验室都应该能达到的。

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  • 光哥

    第4楼2012/09/04

    应助工程师

    这个是固体硅中的浓度,并非是消解处理后溶液中的浓度。个人认为还是相当有难度,甚至感觉是不可能的,几个ppt,不是几个ppb、

    另外,疑惑的是B/P是如何做到的。低温FTIR也达不到这个限度吧

    诚信(zhaoxudong-1) 发表:试剂用超纯的HF酸和硝酸(一般用日本的TAMPURE,规格金属含量小于10ppt),水用默克密理博的超纯水机另加一个除硼柱,制出来的水金属含量也小于10ppt),然后该操作都要在至少千级的实验室完成即可。这个数据半导体多晶硅实验室都应该能达到的。

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  • envirend

    第5楼2012/09/05

    应助达人

    也许提供数据的人,是大忽悠呢? 几个ppt,是梦想

    光哥(xsh1234567) 发表:这个是固体硅中的浓度,并非是消解处理后溶液中的浓度。个人认为还是相当有难度,甚至感觉是不可能的,几个ppt,不是几个ppb、

    另外,疑惑的是B/P是如何做到的。低温FTIR也达不到这个限度吧

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  • 诚信

    第6楼2012/09/05

    在百级的无尘实验室,再加上热电的ICP-MS(扇形检测器,不是四级杆或者八级杆),都能做到ppq,何况ppt呢?你认为呢?

    光哥(xsh1234567) 发表:这个是固体硅中的浓度,并非是消解处理后溶液中的浓度。个人认为还是相当有难度,甚至感觉是不可能的,几个ppt,不是几个ppb、

    另外,疑惑的是B/P是如何做到的。低温FTIR也达不到这个限度吧

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  • 燕飞

    第7楼2012/09/06

    PPT级的要求,基本很难达到吧。
    PPB级已经是很高的要求了。

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  • 光哥

    第9楼2012/09/07

    应助工程师

    试剂呢?这个的本底达不到要求吧?

    诚信(zhaoxudong-1) 发表:在百级的无尘实验室,再加上热电的ICP-MS(扇形检测器,不是四级杆或者八级杆),都能做到ppq,何况ppt呢?你认为呢?

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  • 诚信

    第10楼2012/09/07

    半导体和太阳能用的超纯试剂应该能够达到的。

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