ICP-MS泄真空时关气了，对仪器的损害是什么？仪器会出现什么故障？

如果关气的时候，ICP-MS已熄火、待机，那没有任何影响。
你用啥型号的ICP-MS？仪器提示什么错误信息？

应助达人

同意楼上的看法，氩气只是在ICP-MS工作的时候才用到，那时候断气了话影响就比较大，有可能烧矩管！

关气的时候没做实验，处于熄火待机状态，快过节了，就打算把真空泄了，没开气就直接点泄真空了，我用的是瓦里安820。

主要是当时工程师说过泄真空的时候一定要开着气，所以很担心仪器又会出什么故障！

应助达人

这个是没有影响的，但是一般泄气的时候比如你的反应气最好处于开着的状态，这样不容易引起污染

在空气湿度不大的情况下没什么问题。

应助达人

减压阀一定要用质量好一点的，那怕是贵一些，可以减少很多不必要的麻烦。
很多仪器的设计都是仪器在泄真空、尤其是意外断电后，氩气自动充入到仪器真空腔体内，以防止空气进入。因为空气中含有水汽等，一是会腐蚀元器件，二是那些元器件吸附水份后下次再抽真空就会很困难。所以工程师才说泄真空的时候要开着氩气。当然上面说的那些影响都是很微弱的，尽量避免就是了。

早期的ICP-MS 在卸载真空前需要往分析腔（透镜-四极杆-检测器 这一块）充入氩气，在惰性气体中保护检测器。
但现在的ICP-MS都不需要这么做了。

这样就是说有可能会损坏检测器了？期待楼主分享开机后的仪器状况。