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喷金10s,如何判断图片中是否金颗粒?

  • yangyouran
    2012/11/06
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 以下图像为溶胶凝胶法制备的SiO2薄膜,第一张未喷金,为了降低电子束对样品的伤害,选择了低电压,小工作距离。但是感觉不够清晰。


    因效果不好,喷金10s,喷金电流15mA,金膜厚度约2nm,所得图片如下:



    相较于不喷金的图片,喷金后多出了很多小颗粒,能否说明这些小颗粒是金?还是说喷金后图像更清晰,小颗粒是膜本身的颗粒呢?
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  • 小M

    第1楼2012/11/06

    应助达人

    我觉得是膜本身的颗粒,第一张分辨率不够,没看清楚。仔细看能够看出来第一张有更小的颗粒

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  • fengyinqiao

    第2楼2012/11/06

    是不是纳米级的呀,颗粒好像没有分开,还在一块聚着。

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  • asahi42

    第3楼2012/11/06

    杨老师,我感觉后一张图片里所有的亮点都是金颗粒,是金颗粒在溅射时优先附着在样品表面比较高的地方,造成不连续,因为第一张图颗粒的大小相当于第二张图颗粒大小的三四倍,而第一张图每个颗粒都可以隐约判断出有两三个凹凸不平…另外,后一张图为啥不开减速呢?

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  • 小M

    第4楼2012/11/07

    应助达人

    这么多金啊

    asahi42(asahi42) 发表:杨老师,我感觉后一张图片里所有的亮点都是金颗粒,是金颗粒在溅射时优先附着在样品表面比较高的地方,造成不连续,因为第一张图颗粒的大小相当于第二张图颗粒大小的三四倍,而第一张图每个颗粒都可以隐约判断出有两三个凹凸不平…另外,后一张图为啥不开减速呢?

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  • 驰奔

    第5楼2012/11/12

    因效果不好,喷金10s,喷金电流15mA,金膜厚度约2nm,
    --
    楼主这个条件参数,结论不可靠!

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  • yangyouran

    第6楼2012/11/14

    您说什么不可靠?

    金膜厚度是计算出来的:我在同样的条件下喷金90s,用台阶仪测试了金膜厚度,计算了沉积速率,推算获得其它喷金时间对应的金膜厚度。

    驰奔(srd2009) 发表:因效果不好,喷金10s,喷金电流15mA,金膜厚度约2nm,
    --
    楼主这个条件参数,结论不可靠!

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  • 驰奔

    第7楼2012/11/14

    我指的是15mA溅射是不是太高了,能获得均匀的2nm的连续膜层吗?我怀疑小的颗粒是金颗粒。

    yangyouran(yangyouran) 发表:您说什么不可靠?

    金膜厚度是计算出来的:我在同样的条件下喷金90s,用台阶仪测试了金膜厚度,计算了沉积速率,推算获得其它喷金时间对应的金膜厚度。

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  • wjg

    第8楼2012/11/14

    200纳米标尺下能看见金颗粒,你喷的金颗粒太粗了啊,会影响样品的观察啊

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  • yuezai

    第9楼2012/12/13

    同意呀。

    wjg(wjg) 发表:200纳米标尺下能看见金颗粒,你喷的金颗粒太粗了啊,会影响样品的观察啊

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  • cvbs11

    第10楼2012/12/23

    镀金是为了增强导电性,图片可以拍的更清楚,200nm应该可以看到很清晰的颗粒了,不过楼主的图片拍的还是不够清楚呀,建议换到2KV观察一下。楼主说是喷金,靶材用的是Au吗?不是PT或着Ir吗?

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