扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2012/11/06
我觉得是膜本身的颗粒,第一张分辨率不够,没看清楚。仔细看能够看出来第一张有更小的颗粒
fengyinqiao
第2楼2012/11/06
是不是纳米级的呀,颗粒好像没有分开,还在一块聚着。
asahi42
第3楼2012/11/06
杨老师,我感觉后一张图片里所有的亮点都是金颗粒,是金颗粒在溅射时优先附着在样品表面比较高的地方,造成不连续,因为第一张图颗粒的大小相当于第二张图颗粒大小的三四倍,而第一张图每个颗粒都可以隐约判断出有两三个凹凸不平…另外,后一张图为啥不开减速呢?
第4楼2012/11/07
这么多金啊
驰奔
第5楼2012/11/12
因效果不好,喷金10s,喷金电流15mA,金膜厚度约2nm,--楼主这个条件参数,结论不可靠!
yangyouran
第6楼2012/11/14
您说什么不可靠?金膜厚度是计算出来的:我在同样的条件下喷金90s,用台阶仪测试了金膜厚度,计算了沉积速率,推算获得其它喷金时间对应的金膜厚度。
第7楼2012/11/14
我指的是15mA溅射是不是太高了,能获得均匀的2nm的连续膜层吗?我怀疑小的颗粒是金颗粒。
wjg
第8楼2012/11/14
200纳米标尺下能看见金颗粒,你喷的金颗粒太粗了啊,会影响样品的观察啊
yuezai
第9楼2012/12/13
同意呀。
cvbs11
第10楼2012/12/23
镀金是为了增强导电性,图片可以拍的更清楚,200nm应该可以看到很清晰的颗粒了,不过楼主的图片拍的还是不够清楚呀,建议换到2KV观察一下。楼主说是喷金,靶材用的是Au吗?不是PT或着Ir吗?
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