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【求助】那个有机溶剂的折射率较大(最好大于1.6),并且较便宜,毒性小?

分析化学

  • 那个有机溶剂的折射率较大(最好大于1.6),并且较便宜,毒性小?当然后面俩个只是附加条件!谢谢!!
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  • cxshouse

    第1楼2006/06/06

    大于1.6的不多阿,大多在1.4左右。

    聚合物大于1.6的可能有。

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  • 醋老西

    第2楼2006/06/08

    日本JSR面向浸液ArF(氟化氩)曝光用途开发成功折射率为1.64的高折射率液体后,在业界引起了轰动。最近美国杜邦公司也开发出了折射率为1.644、吸光率为0.083/cm的高折射率液体。在“第30届SPIE微蚀刻技术国际研讨会”的有关浸液材料联合研讨会上进行了技术发表。

    杜邦此次开发出了多种折射率超过1.6的液体。其中吸光率最低的为“IF132”液体,对光波长193nm的折射率为1.644,吸光率为0.083/cm。另外,折射率最高的“IF175”实现了1.664的折射率。该公司表示,使用“IF131”(折射率为1.642,吸光率为0.17/cm)和IF132,利用荷兰ASML公司的双光束干涉曝光装置,对线宽/线间隔为32nm的图案进行了成像。
      
    单从折射率与透过率的数字来看,杜邦开发的产品与JSR发表的折射率(1.64)和透过率(98%)非常接近。不过,由于杜邦没有公布其与光刻胶的反应性能、折射率的再现性、液体粘度以及表面张力等浸液曝光材料所需的各种特性数据,因此很多技术人员认为,该技术的实力到底如何目前还不清楚。另外,材料的详情也没有公布,不过有猜测说可能是氟类有机溶剂。

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