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【探讨】扫描电镜前处理--普通制样方法

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 快过年了,先拜个早年

    在这里小小总结了一下扫面电镜的前处理质量的普通方法,供大家参考。

    一般从样品的外观上我们可以分为固体样品和粉末样品两种。

    ① 固体样品的固定

    固定用的导电介质分大概按分:

    高倍观察(>5万倍)

    低倍观察(<5万倍)

    液体导电胶

    导电胶带



    固定方法如图所示

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  • Amy_luo

    第1楼2013/02/06

    ②粉末样品的固定

    可以直接固定在导电胶带或者液体导电胶上,见图

    注意点:如果是导电胶带,揭下来的剥离纸一定要倒着放,撒完样品后在用剥离纸干净的面压一下,固定的才回牢

    如果是液体导电胶,最好是用水溶性的,不容易和样品发生反应,撒样品的时间点控制在导电胶快干的时候撒,才能使样品达到半浸没状态。



    也可以用分散法,见图

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  • Amy_luo

    第2楼2013/02/06

    ③ 截面样品制作

    如果是硅片或者是玻璃,需要用到玻璃刀,见图

    注意点:用玻璃刀划的时候要让开观察的面,也就是说可以上面和下面各划一下,然后再掰就可以了

    根据不同样品材质,有的时候是正面掰好,有的时候是从背面掰好。



    对于薄膜类的样品,可以用液氮粹断,如下图



    以上是扫描做样的基本制样手段,希望对大家有用。

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  • RoadCH

    第3楼2013/02/06

    图文并茂,对电镜新操作人员来说非常有帮助。

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  • asahi42

    第5楼2013/02/06

    非常有用~谢谢Amy_luo的总结!~

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  • 天黑请闭眼

    第6楼2013/02/06

    十分感谢!对于固体块样,为什么高倍用导电胶,低倍用液体导电胶呢?

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  • asahi42

    第7楼2013/02/06

    应该是LZ一不当心写反了,下面的图上,高倍是液体胶,低倍是导电胶带~

    天黑请闭眼(shxie) 发表:十分感谢!对于固体块样,为什么高倍用导电胶,低倍用液体导电胶呢?

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  • Amy_luo

    第8楼2013/02/07

    呵呵,是写错了,已经更正,抱歉

    天黑请闭眼(shxie) 发表:十分感谢!对于固体块样,为什么高倍用导电胶,低倍用液体导电胶呢?

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  • 天黑请闭眼

    第9楼2013/02/07

    哦, 原来我也看漏了,这下没有疑惑了,十分感谢,给您拜个早年!祝新春大吉,喜乐相随!

    Amy_luo(v2678410) 发表:呵呵,是写错了,已经更正,抱歉

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