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要实现高.真扫描图片吗，看这里！！！

zhimakaihua999

2013/04/08

扫描电镜（SEM/EDS）

主要性能参数为：

1.分辨率，

15 kV时优于0.8 nm

1 k V时优于1.0 nm (不采用减速模式)

低真空模式：10 kV时优于1.6nm，3 kV时优于1.8 nm

2.放大倍数10-1000000连续可调；

3.样品室尺寸：左右内径≥330 mm

4.样品台类型：5轴马达驱动

移动范围指标：X 3100mm Y 3100mm Z 325mm

连续旋转：R=360°倾斜角T：范围不小于－15o～70o

5.探测器

5.1 二次电子探头：普通二次电子检测器; 极靴内二次电子探测器;极靴内背散射电子探测器;

5.2 低真空二次电子探测器；低真空超高分辨二次电子探测器

5.3 背散射电子探头：具有优异低电压( ￡ 3kV )性能的高灵敏度、低电压取向背散射电子探测器

上图为本仪器测试图片，1为半导体薄膜，2为新鲜的草叶。

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fengyonghe

第1楼2013/04/08

有荷电中和器，不导电样品可直接测试无需喷涂

仪器又有了新的进步

0

社区=冬季=

第2楼2013/04/09

是来做广告的？

0

zhimakaihua999

第3楼2013/04/10

对的老师，仪器挺先进，希望多做点贡献。久仰您大名，请多指教！
fengyonghe(fengyonghe) 发表:有荷电中和器，不导电样品可直接测试无需喷涂

仪器又有了新的进步

0

小M

第4楼2013/04/10

应助达人

“2为新鲜的草叶”？乍一看我还以为是复眼呢

0

hxm0515

第5楼2013/04/11

可以分享下经验吗谢谢

0

zemb

第6楼2013/04/16

这是ZEISS的电镜吗？是什么型号呀？

0

gegeyc88

第7楼2013/04/17

这是蔡司的电镜，能告诉我半导体薄膜那个是怎么制样的，望不吝赐教！！万分感谢！

0

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