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请教XPS仪器参数所表示含义

  • bairuizheng
    2013/04/16
  • 私聊

XPS及其它能谱仪

  • 我作了XPS检测。检测机构给出了仪器表述,其中有几个地方不明,请教各位老师/专家

    1)单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 这后面最大100瓦指得是物理含义。

    2)Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米,实测以100微米检测好不好?

    3)Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的?

    4) Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么,这个值是大还是小了?

    5)Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准,0.59eV是大还是小;是否还有其它的分辨率作基准的?

    谢谢,急!
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  • blackbeauty

    第1楼2013/04/16

    1)单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 这后面最大100瓦指得是物理含义。
    100W指X-Ray功率,功率越大灵敏度越高,但是功率过大会影响阳极靶使用寿命。通过你给的数据,可以推测出事用PHI 5000 Versaprobe II型号XPS测试,此为此款的高能模式,通常用来检测低含量元素。

    2)Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米,实测以100微米检测好不好?
    测试束斑大小通常和你关注的空间分辨率有关,如果你想看几十微米的区域,选择用小束斑,但如果你关注大面积的元素及化学状态的分布,就没有必要选择小束斑的X-ray,因为束斑越小,光电子产额越少,信号强度越低。此款的高能模式预设的X-ray直径为100微米。用电子枪快速在阳极靶扫描产生X-ray射线,扫描的长度为1.4mm。

    3)Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的?

    take off angle指探测器与样品法线间的夹角,这个和光电子强度以及信号来源深度有关系,这个指标与你测得样品特性可能无关,不用在意。

    4) Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么,这个值是大还是小了?

    通过能是指减速后通过能量分析器的电子能量。此项指标越高,灵敏度越好,能量分辨率越差,反之则灵敏度降低,能量分辨率提高。PHI 5000 Versaprobe II的通能范围为2.95~187ev。是大是小要看你是否能够区分你要测试的元素及其化学状态的信息。

    5)Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准,0.59eV是大还是小;是否还有其它的分辨率作基准的?

    Ag作为标准样品来检测仪器的能量分辨率。此款的极限能量分辨率为Ag3d5/2 peak 小于0.5ev。是否合适同样还是要看你需要测试的元素及化学状态是否能分开。

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  • blackbeauty

    第2楼2013/04/16

    顺便问一下,你是从哪里测的?我已经回复你的问题,可到所发的帖子中查阅。

    bairuizheng(bairuizheng) 发表:我作了XPS检测。检测机构给出了仪器表述,其中有几个地方不明,请教各位老师/专家

    1)单色 Al K alpha x-ray source, max. power 100W 这后面最大100瓦指得是物理含义。

    2)Focused x-ray beam, min. 10um, Measured size:100um 既然X光斑可以最小是10微米,实测以100微米检测好不好?

    3)Detect angle (take off) : 45 这个角度怎么定义的?

    4) Pass energy: 58.7eV, 带通能量是说明什么,这个值是大还是小了?

    5)Overall resolution: 0.59 eV Ag3d5/2 peak 这里的分辨率既然是以银为为准,0.59eV是大还是小;是否还有其它的分辨率作基准的?

    谢谢,急!

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  • bairuizheng

    第3楼2013/04/16

    首先谢谢这位老师/专家的非常到位的专业回答。
    1)X-ray功率100W是否是指运行X射线发生器的功率还是其它?

    4)是在分辨Ag(0)和Ag(I)时用的带通能量,取这个值是否可以分出?最佳取多大?
    5)如按老师您所说的可以窄过0.5eV, 那是所用0.59eV是否足以分开Ag(0)和Ag(I)?

    测试在香港科技园。仪器:ESCA microprobe (Model: Quantum 2000, Manufacturer: Physical Electronics)。是否和老师说的PHI 5000 Versaprobe II型是一款吗?

    还请帮忙,非常谢谢!

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  • blackbeauty

    第4楼2013/04/16

    bairuizheng(bairuizheng) 发表:首先谢谢这位老师/专家的非常到位的专业回答。
    1)X-ray功率100W是否是指运行X射线发生器的功率还是其它?

    是指轰击Al阳极靶电子束的能量。

    4)是在分辨Ag(0)和Ag(I)时用的带通能量,取这个值是否可以分出?最佳取多大?

    Ag(0)峰位在368.2eV,Ag(I)的峰位会随与它结合的基团不同而变化,如果是Ag2S 或AgSO4就比较难分辨,如果你知道里面有金属Ag,可以先固定一个峰位,看看是否可以用分峰软件分出另外一个峰的位置。
    5)如按老师您所说的可以窄过0.5eV, 那是所用0.59eV是否足以分开Ag(0)和Ag(I)?

    两个峰挨的太紧,必须用分峰软件处理,可以尝试做做看,仪器自带的multipak软件可以做这样的工作。

    测试在香港科技园。仪器:ESCA microprobe (Model: Quantum 2000, Manufacturer: Physical Electronics)。是否和老师说的PHI 5000 Versaprobe II型是一款吗?

    是同一家公司的,PHI 5000 Versaprobe II是多功能平台,X-ray可以最小至10μm,quantum2000 是quantera II的 前身,目前最小X-ray可以做到7.5μm。

    PS,我才从香港科技园回来,嘿嘿。

    还请帮忙,非常谢谢!

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  • bairuizheng

    第5楼2013/04/16

    非常谢谢!

    我现在在科技园,您在来科技园,我请您吃饭。祝愉快!

    blackbeauty(blackbeauty) 发表:

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