扫描电镜(SEM/EDS)
另一半是孩子
第1楼2013/05/28
样品台精度不够
gegeyc88
第2楼2013/05/28
能不能具体说明下~~
kfcontrol
第3楼2013/05/28
虽然你说排除样品导电性的问题,我还是分享一个我的经历吧。。。拍13nm的金颗粒在硅片上,发现图像飘逸的很厉害,感觉就像下雪一样,同学指出“金”肯定导电性能好,为什么还会飘逸呢!然后我们在硅片周围用铜胶带搭桥到样品台上发现。。。图像飘逸减轻很多,甚至没有。。。所以感觉图像要是飘逸,排除机器毛病,还是感觉是导电性的问题
fengyonghe
第4楼2013/05/28
只看载物台也漂移才能说明是载物台机械加工精度不够造成的漂移。载物台还有一根接地线要确保接牢。
第5楼2013/05/28
怎么样校正样品台呢?
第6楼2013/05/28
下次再试试。
龙吟小魔鬼童鞋
第7楼2013/05/29
学习中,希望楼主可以试试
小M
第8楼2013/05/29
样品固定原因;导电性;导电通路(连接)
好强
第9楼2013/06/05
可能是用的导电胶的原因
第10楼2013/06/05
一般用的都是碳导电胶,但个人觉得这个导电胶不是很好~用万用表测都不导电的。
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