扫描电镜(SEM/EDS)
wjianna
第1楼2006/07/12
我们没有这个经历。我想首先检查灯丝是否过饱和,对中和距离是否合适。其次最大的可能就是电子枪部分的真空度达不到要求?按理说电镜有自动监测控制真空的系统,除非真空规失灵了!
扫描电镜分析
第2楼2006/07/12
判断真空度是否太差导致钨灯丝烧断,可以通过观察灯丝周围附近污染变黑程度,如果真空度高,在短时间内,灯丝附近不会黑很大一片的。如果真空正常,通常电流太高是引发烧断的一个主要因素。
forzamarco
第3楼2006/07/13
请问您的灯丝大概是使用多久就烧断了?还有你在换灯丝时是否有将灯丝盖清洁干净,饱和点调整,灯丝位置是否对中?由于电子枪体和样品室是相互隔绝的,即使在低真空时,也只是样品室是低真空状态,枪体部分还是要高真空的,我记得是这样子的,如果说的不对,请大家指正.我不知道你电镜的型号,在Hitachi电镜的EVACSEQ电路板上测量TP1与GND间的直流电压,一般在0.5V左右就表示真空没有问题的,当然真空度越高,其电流值越小
zemb
第4楼2006/07/13
真空度不高是灯丝寿命短的原因之一,应检查一下真空度是否正常,真空度指示是否正确,真空规工作是否正常。以前曾遇到该问题,供参考。
semuser
第5楼2006/07/18
像是真空问题,注意检查电子枪室的密封性。
robin67
第6楼2006/07/18
电镜厂家的维修人员测试过真空,应没有问题. 个人倾向于认为,有瞬时的大电流流过灯丝,导致灯丝烧断. 但不知道根源在哪里?以下是某一天观察到的在不同加速电压下的灯丝电流,这组数据能给我们提供什么信息? 加速电压与灯丝饱和电流应有何关系?25KV:63uA,20KV:81uA, 15KV:80uA, 10KV:72uA, 5KV:57uA
wuweifeng214
第7楼2006/07/19
这个问题我不是很专业啊.
第8楼2006/07/24
注意测一下极限真空度,由于真空规一般安装位置低,有可能测量值符合要求,但实际电子枪真空度低,通过极限真空值可以推测一下。
sunnysky
第9楼2006/07/27
如果真空和操作都没问题的话,先检查灯丝与基座的接触情况,再检查高压及偏压的稳定性
品牌合作伙伴
丹纳赫苏州基地 打工人的梦想
执行举报