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请教一下各位高手:CIV阀门漏气会造成什么危害?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如题,只是听维护工程师说对灯丝不好,会缩短灯丝寿命。电镜换过灯丝几个月后灯丝电流突然下降很多,原来有130uA左右,现在最低只有40uA,高的时候也才90uA,导致图像质量下降,是否和阀门漏气有关系呢?请各位高手不吝指点一下,谢谢!
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  • 天黑请闭眼

    第1楼2013/06/27

    热场灯丝发射电流有这么大的起伏么?我们的新灯丝基本也就上下浮动3 微安。

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  • asahi42

    第2楼2013/06/27

    束流这么掉法,LZ电子枪的真空度估计一塌糊涂了,赶紧停机烘烤吧,把灯丝折腾废了就得不偿失了

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  • 小M

    第3楼2013/06/27

    应助达人

    正常情况下,灯丝电流应该是越用越大啊!

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  • kfcontrol

    第4楼2013/06/28

    我这边灯丝电流270.3ua,电压4.85kv。。。貌似电流会有变化,电压设置好了,基本上不变化。。。开加速电压时都会不变的。。。电流会变化。。。置于越用越大,这个我以后留心观察观察。。。

    小M(mitchell_dyzy) 发表:正常情况下,灯丝电流应该是越用越大啊!

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  • cvbs11

    第5楼2013/06/28

    设备稳定时,电流的波动是不大的,我这也是特殊情况

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  • 小M

    第6楼2013/06/29

    应助达人

    之前似乎看到过您说这台SEM已经用了一年半,不知道您接管有多长时间了,有没有记录灯丝发射电流这个参数,如果有记录的话,对比一下几个月前的数据,就看的出来了

    kfcontrol(kfcontrol) 发表:我这边灯丝电流270.3ua,电压4.85kv。。。貌似电流会有变化,电压设置好了,基本上不变化。。。开加速电压时都会不变的。。。电流会变化。。。置于越用越大,这个我以后留心观察观察。。。

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  • cvbs11

    第7楼2013/07/02

    貌似大家偏题啦,灯丝发射电流我们都一直有记录的,而且还记录了加高压前后的对比,我现在就想了解漏气的危害,有高手能解答吗?

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