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ITO透明电极探秘

gegeyc88

2013/06/28

扫描电镜（SEM/EDS）

ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，在半导体照明行业这种透明电极应用非常广泛，在照明行业，电极既要具有很好的导电性也要具有好的透明性，才能同时满足光学和电学性能的要求。

下图被切割而成的小方块就是LED die，每个die上的发光面均用蒸镀的方法生长了ITO透明薄膜，用肉眼看上去呈现透明。

下面选取了透明电极表面生长过程中的一些类似缺陷的区域，近距离的观察此类半导体材料：

由于仪器放在厂房内，振动影响明显，最后一张图中就可以清楚的看到。

对比肉眼和SEM的图片，可以看到微观世界中的ITO膜层是原子的有序排列而成。

分
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luminescence

第1楼2013/06/28

本人对楼主最后一句话中“ITO膜层是原子的有序排列”持保留意见。

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gegeyc88

第2楼2013/06/28

有道理，是我表述错误！只是假想跟这类似，然后就。。。
luminescence(luminescence) 发表:本人对楼主最后一句话中“ITO膜层是原子的有序排列”持保留意见。

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kfcontrol

第3楼2013/06/28

ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主，profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗？还是什么？

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gegeyc88

第4楼2013/06/28

我们这边半导体照明的是用蒸镀，上面那个profile width是我拉的那条线的宽度，这个主要是看那个‘’白色‘’的形貌，这个是定性的，不能定量的表达。
kfcontrol(kfcontrol) 发表:ito膜一般都是溅镀上去的吧。。。我们ito上面的膜层都是采用蒸镀的。。。还有请教楼主，profile width这个标尺是什么意思啊。。。是反应深度的吗？还是什么？

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hxm0515

第5楼2013/06/30

怎么和我看到的有很大差异

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gegeyc88

第6楼2013/07/01

传几张上来看看。。。
hxm0515(hxm0515) 发表:怎么和我看到的有很大差异

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小M

第7楼2013/07/01

应助达人

profile曲线的纵坐标表示白色物质的纵向高度吗？
gegeyc88(v2675311) 发表:我们这边半导体照明的是用蒸镀，上面那个profile width是我拉的那条线的宽度，这个主要是看那个‘’白色‘’的形貌，这个是定性的，不能定量的表达。

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小M

第8楼2013/07/01

应助达人

SEM看不到原子层面，所以只能说是微观有序排列结构吧

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驰奔

第9楼2013/07/01

现在的液晶显示器里都有这个器件，也就是大家天天触摸的屏里都有这个器件吧

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gegeyc88

第10楼2013/07/02

不能表达具体的数值，只能是知道这里是凸起来的。
小M(mitchell_dyzy) 发表:profile曲线的纵坐标表示白色物质的纵向高度吗？

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