扫描电镜(SEM/EDS)
低加速电压高空间分布率的EDS元素Mapping
曾毅 吴伟 (中科院 上海硅酸盐研究所)
gegeyc88
第1楼2013/09/02
长见识了,用蓝宝石做衬底长Ni/Al,不知道晶格匹配率怎么样,长出来的膜层的粘附性怎么样?
sept
第2楼2013/09/02
另外,在此慎重提醒:非很熟练且长期专研电镜、能谱等设备的专家,我们不鼓励用户拆卸任何包括准直器、电子陷阱类的硬件。thanks
asahi42
第3楼2013/09/02
吴老师真牛~!
linzq
第4楼2013/09/02
探头位置装在哪里?在镜筒内?
fengyonghe
第5楼2013/09/02
试验结果值得推荐,但有一点不明白。第三点是这样写的:“③ 如何避免EDS探头顶部的电子陷阱对入射电子及信号电子的干扰(全浸没式模式),实现能谱的高分辨率?”EDS采集的是X-射线光子而不是“信号电子” ,为什么要拆除电子陷阱呢?
第6楼2013/09/02
准直器加电压,来吸引电子,X光子不受影响。现在的探头位置到底装在什么地方?工作距离可以那么小?
第7楼2013/09/02
拆掉的是电子陷阱,准直器是另外一个部件:准直器上不会加高压,也没必要吸引电子。文中说:② 临时摘除EDS探头的电子陷阱,牺牲部分信噪比,以减少对高分辨Mapping的干扰。拆或不拆电子陷阱对X-射线光子有什么影响?电子陷阱对X-射线信号Mapping有干扰?
蓝莓口香糖
第8楼2013/09/02
如果在减速模式下做,效果可能会更好。
第9楼2013/09/02
放大倍数不是50万,那张电子像按照标尺算出来是107000倍。可能是上传时缩小了,但最多30万倍。
第10楼2013/09/02
开始以为拆掉准直器部分是为了靠近样品增大接收角,但是看了后面的解释,似乎是为了减少探头电路对电子的干扰。这部分造成的外场应该是静态的,对电子能有什么干扰呢?
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