一般SEM的标尺是如何校准的？

要通过专用的放大倍数标准样品来校正的,电镜本身是带有这种功能的.不过一般是由厂家的安装工程师在调试的时候校好.

校样是什么校样，我只看到过金原子的照片，没有看到绝对校准标尺的样板。另仅在调试时校准一次标尺，以后标尺难道不会变吗？有些困惑。

好问题！
期待高手回答
纠正一下：不是金原子，是金颗粒。

好像是一个网格状的标样. 网格的间距是一定的.
校正一次以后应该就不用校正了.
但如果是像半导体行业做测量的话,因为对测长精度很高,最好配一个标样.
国内现在也有开始做测长标样的了.

一般能谱这边的标尺是用网格状标准样品来校准，此校准叫做IMAGE校准，包含黑白度对比度的校准，由于误差原因，尺寸测量时还是以电镜那边测的尺寸更为准确，因为能谱的标尺是以电镜测量的结果作为标准的。

SEM的放大倍数标样是标准的刻线,我知道FEI用的是低倍为1/19mm的刻线,高倍用的1/2160mm的刻线,通过X,Y两个方向来校准的,EDS和DualBeam中的I-Beam放大倍数校正都是基于SEM来校正的,所以这个标样本身要合乎测试的要求标准才可以,就和国际单位制中的米原尺一样的.其本身也有标准

要通过专用的放大倍数标准样品来校正的,一个网格状的标样,日本电子的是25μ，正负8% 判定

要想标尺准确的话,最好用从国际标准委员会经过若干级标准传递,经过认证的标样校正,这样进行测量时,可保证准确,并有法律效力

真正的不好，不好说