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钽管看断面工具和方法

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 大家好!

    我现在有一个技术问题,我的是一个钽管,钽管内壁有五氧化二钽薄膜,薄膜的厚度应该是100-200纳米左右,目前想看断面分层情况,SEM已经有了,主要是现在该怎么制备SEM好的断面。能够明显的看出分层。有什么仪器,什么方法,大家给我建议下,有惊喜礼物哦~~~多谢!
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  • amilan

    第1楼2013/09/28

    钽管的厚度是0.5mm

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  • gao007007

    第2楼2013/10/12

    很简单,用hitachi im4000离子研磨仪加工一下就可以。

    下图是我今年做的样品,是金属丝外有镀层,镀层只有50nm厚。仅仅做了一次就成功了。

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  • 小M

    第3楼2013/10/14

    应助达人

    是先用树脂镶样了吧

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  • amilan

    第4楼2013/10/14

    第一个图片怎么看啊?你们是什么金属啊?

    gao007007(gao007007) 发表:很简单,用hitachi im4000离子研磨仪加工一下就可以。

    下图是我今年做的样品,是金属丝外有镀层,镀层只有50nm厚。仅仅做了一次就成功了。

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  • gao007007

    第5楼2013/10/14

    是锡焊线,外层镀钽,截面

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  • gao007007

    第6楼2013/10/14

    按理说是,但偷懒直接用热蜡粘的。

    小M(mitchell_dyzy) 发表:是先用树脂镶样了吧

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  • 小M

    第7楼2013/10/15

    应助达人

    抛光了吗?

    gao007007(gao007007) 发表:按理说是,但偷懒直接用热蜡粘的。

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  • gao007007

    第8楼2013/10/25

    小M(mitchell_dyzy) 发表:抛光了吗?

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  • 小M

    第9楼2013/10/25

    应助达人

    查一下才知道,离子研磨比抛光要精细多了

    gao007007(gao007007) 发表:金属丝用刀片切断的,没有抛光,直接离子研磨

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