扫描电镜(SEM/EDS)
yangyouran
第1楼2013/09/29
会不会是金靶快用完了?
linzq
第2楼2013/09/29
放点气进去
edda601
第3楼2013/09/30
怎么看靶用完了啊?
第4楼2013/09/30
是指真空度不那么高,就开始喷?可是仪器必须达到ready才能喷啊?
ahauxy
第6楼2013/09/30
我也有这个问题,希望大侠能够帮忙详解一下啊
第7楼2013/09/30
你达到READY的时间太长了离子溅射需要离子,来之于真空中的气体分子电离形成离子
第8楼2013/10/08
原来……下次试试!那为什么电流会越来越小呢?如果我在喷金的时候close,然后不抽气。可以吗?
第9楼2013/10/14
的确,今天一ready我就开始喷,果然电流很大。但是喷的过程电流仍是在降低的说
第10楼2013/10/14
驰奔
第11楼2013/10/14
这个型号是自动真空系统。是不是进气阀门堵了?应该需要工程师或工程师指导检查一下。
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