共工
第3楼2006/08/12
严格来讲, 场发射是没有 束斑SPOT的概念的, 束斑SPOT FEI又叫交叉斑 CROSSOVER, 是电子束在被 缩小倍率的时候形成的, 是由于聚光镜 CONDENSOR的作用形成的。
因此SPOT的概念是由钨灯丝镜筒发展建立起来的, 钨丝发射源直径大,发散性强,需要多级聚光镜来完成形成观测束斑, 一般两级, 有的厂家设计多达四级。
由于场发射源直径已经极小,发散性弱, 所以在设计上并不需要镜筒中的聚光镜。
但是, 厂家特别像 FEI 主推所谓 环扫的, 为了避免低真空或可变压力状态下对束流发散性的影响, 不得不在镜筒中采用双聚光镜。
这就决定了如果您用的是 FEI 的场发射, 就会接触到束斑的调节,但是如果是其他厂家的, 就不一定哟。