扫描电镜（SEM/EDS）
cnfvmqj
第2楼2006/08/12
像散应该是由于镜筒及光阑污染造成的，但是我的镜筒和光阑都刚刚清洗过，我怀疑是物镜光阑变形造成的，哪位高人遇到过此类问题还请多多点拨，哈哈！
扫描电镜分析
第3楼2006/08/12
先保证电子束对中。调焦时图象不应该移动，否则要调节到不移动。调焦时，图象在正交方向上不应该有拉长的现象，否则调象散。消象散是获得高清晰度的重要保证。
小石头
第4楼2006/08/12
我用的是JEOL6390LV,更换spot size的时候就要调节gun alignment,是不是就是因为换了束斑以后调焦的时候图像会移动？
第5楼2006/08/12
调完电子对中后，进行调焦及消像散处理后，居然不清晰，移动了一下光阑就好多了，但这个时候电子束肯定没对中，怎么回事啊，郁闷！
haidanok
第6楼2006/08/12
造成像散原因有三:镜筒及光阑污染以及物镜光阑合轴不好,镜筒和光阑都刚刚清洗过的话,只能是没清洗干净!
jzhx68
第7楼2006/08/17
注意观察一下，光阑上是否存在划痕以及其他的灰尘颗粒。可以换一片光阑试一下，看一下问题是否依然存在。一般情况是光阑的污染造成的。如果换了光阑情况依旧，那要检查光路了。
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