timstoicpms
第7楼2014/01/19
在半导体行业完全有可能,流程空白就是生产过程使用的高纯水,CalBlk 是约2%的稀硝酸。两者计数很低且随机分布,即:可能ICP-MS这次测出来是20cps,下次测出来是25cps——因为计数很低,重现性已经没有意义了。如果这次高纯水测出来是20cps,CalBlk是25cps,则得到负值浓度;再回测一次,高纯水是25cps,CalBlk是23cps,则得到正值浓度。
正因为半导体测试计数很低,为了降低室外电路对电子噪声的影响,通常采用独立接地(在室外埋设铜板)和隔离变压器稳压电源 双管齐下,以保证接地电阻小于4欧姆,地零电压须小于0.5伏特。