ICP光谱
tang566
第1楼2014/02/08
从图来看，炬管的第二层管熔了。检查下炬管的管路是否有漏气或者气体流量参数设置有变化。
千层峰
第2楼2014/02/08
悲催啊，还第一次看到烧中心管的。请问点火前通气多久呢？？
秋月芙蓉
第3楼2014/02/08
我也没遇到过，新管么
第4楼2014/02/08
换气之间，第一只炬管烧熔前，有动过炬管或重新安装过炬管吗？
一网打尽
第5楼2014/02/08
冷却气体流量小了。
sonne86400
第6楼2014/02/08
多少跟新换的气体有点关系
339631332
第7楼2014/02/08
找不到原因 ，那也不敢再试第3根，赶紧想办法解决吧。
indlut
第8楼2014/02/08
估计有两个原因：1.可能是等离子辅助气流量不够，导致等离子体距离中心管过近，温度高把它烧化了。2.可能是射频线圈安装位置有误，导致等离子体距离中心管过近。
longxing1974
第9楼2014/02/09
感觉是冷却气和辅助气流不对，有可能漏气吧，不纯的话
abcpgf
第10楼2014/02/09
还真没遇到过，估计是辅助气不够才会这样的。
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