有没有把SEM改装成电子束暴光的?

版主，请问你们那里有没有把SEM改装成电子束曝光，听说就是加一个图形发生器就行。这样可以给纳米管做上电极，而且可以做很多事情，例如MEMS、NEMS等。

中科院光电所在做这个东西吧,好像已经做过不少了
上海的微系统所就用了他们的图形发生器

图形发生器是国产的好还是国外进口的好？

给张电子束曝光的照片1是得到的碳纳米管阵列

这是利用电子束曝光得到的点阵催化剂经CVD得到的单根碳纳米管阵列的照片。大家也可以做其他的工作！

再给张电极的照片。

关于电子束曝光也许很少有人知道，但是如果说起半导体工业和芯片大家都会知道。其实电子束曝光是半导体工业制造常用的掩模板制作方法。有了电子束曝光才可以制作几十纳米线宽的电路及器件。
大家如果想多了解这方面的内容我可以上传一些资料。

欢迎，想了解一下。

这个论坛的部分人只限于SEM的单纯应用了，说到改装就是外行了
欢迎楼主上传！