扫描电镜(SEM/EDS)
gaominghen
第1楼2014/04/15
放大倍数增大,相应的扫描区域变小,单位面积上扫过的电荷更多。从以上推算,应该是电子束被缩的更小。束斑应该和这没关系,应该是不变。束流应该是不变,但是扫到样品上的单位面积上的电荷应该是增多的,都是推想,不知道对不对。
胖胖熊
第2楼2014/04/15
电子束缩小束斑怎么会不变呢?两者扫描关系?
asahi42
第3楼2014/04/15
放大倍数增加减少改变的只是扫描线圈的电流强度,电子束和束斑基本不变化。
bybls_74
第4楼2014/04/17
束斑电流选定后,束斑大小应该就不变了,放大倍数的改变应该也不会影响大这两个参数,只是在放大倍数很高时,可以降低束斑大小,以提高扫描分辨率。
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