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日立s3700图片总是调节不清晰【跪求各位大神了~~~~】

  • 桃桃sherry
    2015/03/20
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 公司有一台日立S3700扫描电镜，之前更换过一次灯丝，后来就总是调节不清楚，放大倍数2000就开始模糊了，之前是老师傅在使用，我是新手，只知道不清晰时需要重新合轴，自己按照以下步骤试了试，但是效果不明显，完全没有回复之前的状态，是不是更换灯丝之后还需要调节其它什么模块？跪求同样操作此型号机器的大师指点啊！
    我的合轴具体操作步骤：1.Operate-filament imge
    (1)beam tilt 和beam shift 使得光栅在中心，（这一步我有些不明白的是让光栅那个圆孔在中心，还是让再亮的地方在中心？还有就是调节这步的时候，放多大倍数合适?）
    2.点合轴图标，进行合轴
    （1）Aperture Align调节物镜活动光阑，使中心不动，放大位置大于20k(这个活动光阑就是物镜上相互成90度的那2个旋扭吧？)
    （2）Beam Align.Tilt和Beam Align.shift使得亮度最亮
    （3）Stigma Align.X和Stigma Align.Y使得图像中心不动。
    跪求各位大神了，我们一般分析的钢铁材料，加速电压20kv，工作距离10mm，灯丝电流80左右吧~~
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  • 桃桃sherry

    第1楼2015/03/20

    千万别沉了啊~~自己顶一下！

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  • 仙后婧婧（谭思婧）

    第2楼2015/03/20

    同不懂啊，帮顶帮顶~~~~

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  • fengyonghe

    第3楼2015/03/21

    1，只要按操作程序进行就不会有问题；2，图像不清晰就是分辨率低了。原因一是束斑直径要适当调小，二是有象散需要调整，三是需要清洗镜筒。按顺序进行。

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  • 桃桃sherry

    第4楼2015/03/24

    请问，束斑直径在哪里调节啊？还有就是清洗镜筒的话，具体步骤麻烦您能告诉我么？
    多谢您了~~

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:1，只要按操作程序进行就不会有问题；2，图像不清晰就是分辨率低了。原因一是束斑直径要适当调小，二是有象散需要调整，三是需要清洗镜筒。按顺序进行。

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  • 小M

    第5楼2015/03/31

    应助达人

    更换钨灯丝和调试也是技术活，没干过，只能帮顶了

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  • 姑苏一梦

    第6楼2015/04/15

    估计是换灯丝问题 再差的S-3700N也不会出现这样的情况

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  • chenxj1606

    第7楼2015/11/11

    换完灯丝要设置自动饱和点，灯丝像调节之前要先点reset all。

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