yx_clouds
第4楼2006/10/06
嗯,对了哦,我也看到过有人分析LPCVD法生长的多晶Si薄膜,认为晶粒具有择优取向,形貌呈“V”字形,内含高密度的微挛晶缺陷,也没有看到人家提出很有力的证据那是挛晶.另外下面两个链接是人家提及有微挛晶结构的,不过图片不太清楚,你看看啊
http://www.wanfangdata.com.cn/qikan/periodical.articles/sygyxyxb/sygy99/sygy9904/990406.htm
http://www.wanfangdata.com.cn/qikan/Periodical.Articles/xjsxgy/xjsx2000/0002/000213.htm