请问SEM中元素分析问题

怎么没人回答？
自己顶一下。

你是什么样品？
我是做半导体的；
说不定可以帮你的
联系lishen@gsmcthw.com

感谢110sl119，我做的不是半导体。

有没有做SEM的老师啊？
这个东西能不能在带能谱的SEM中测出？

我想应该没有问题， 您应该知道电镜能谱的分辨率不是很高， 130电子伏特左右， 还有对轻元素的定量分析不精确等等缺点。
您问的是有效区域，400纳米不是很小， 只要 电子束流强度和稳定性都够，定性分析应该是百分百。

感谢renxin版主！我样品中的原子序数都在氧后面。我想问：用带能谱的SEM做成分分析，它探测的信号的区域最大为多少？能不能用它做定量分析？

我的样品中的微晶根据XRD确定不了（样品中很多晶体的衍射峰重叠，不好确定物质）。有没有测试手段能准确的确定晶体（非晶态中的析出晶体）？

听起来EBSD(电子背散射衍射仪)好像可以解决你的问题哦, 它正好可以做微区的物相分析嘛

谢谢sshlxf!