wjianna
第4楼2015/05/29
如果是工程师调试好的电镜,现在一般的电镜在二十万倍以下物镜像散都不会太大,除非电镜状态很糟糕!
调试的时候确实应该从低到高倍,但是二十万倍以下不用FFT方法调节。
我的方法是:
用金标准样品,二十万倍左右;
像散大的时候调焦距往往图像不清晰,欠焦过焦下图像有不同方向拉长特征;
先调整焦距到图像没有拉长,然后调节物镜像散,这时候就可以x、y分别调节,
因为不见得是两个方向都不好,如果像散偏差太远,调节时图像会清晰起来;
再调节焦距使图像清晰后(正焦),重复以上物镜像散调节,注意缩小像散调节幅度(步长),反复调节焦距-像散几次达到图像最佳清晰度;
升高到三十多万倍重复以上操作,注意降低调节步长;
最好是四十万倍以上再用FFT;
记得保存参数,否则白努力,下一次换了样品又回到原来状态.
另外,以上只是物镜像散的调节,前提是其它的合轴都做到位了,聚光镜像散也消除了。如果重新合轴,物镜像散要重调整
而你们的调节方法恰恰就容易把物镜像散调远离正常值!