透射电镜（TEM）
ywngs
第1楼2006/10/17
做断面SEM或者截面TEM都可以的。
toallen
第2楼2006/10/17
用SEM就可以看啊,而且都可以测量出实际的厚度的.
yx_clouds
第3楼2006/10/23
如果薄膜太薄的话个人认为并不适合用SEM测试，我原来做的100多nm的薄膜用SEM观察，最小的都测出来好几百nm，我想这个跟SEM的精度有关系吧，本身要镀一层金，如果膜层太薄，受到这层金膜的影响应该比较大，个人猜测！
第4楼2006/10/23
嗯，如果比较薄，我觉得AFM比SEM好用，呵呵
dj_yang
第5楼2006/10/23
观点正确！
sfsyq
第8楼2006/10/24
SEM测薄膜的断面需要薄膜导电，否则需要镀金，但是镀金厚度都很薄，不至于对薄膜的厚度测试影响太大。对于100nm 厚度的薄膜，高分辨得SEM可以准确测量厚度，比较老的SEM就不行了。
lzzrzxz
第9楼2006/10/31
用台阶仪可以测膜厚的！
radisher
第10楼2006/12/30
用透射怎么测呀？
blackcavalier
第11楼2007/01/18
sem做断面的测量就可以了，我觉得
遐想客(ysl)
第12楼2007/01/25
没有喷金，直接用SEM扫描的断面，自己用玻璃刀割断的。直接割断后马上放入电镜中扫。好像分不清楚玻璃基体和我镀的膜了 ，彼此之间分不清阿。怎样才可以分析出我的膜的厚度？
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