请问分子泵放空后停止运转到0%的速度需要差不多30分钟时间这样正常吗？

应助达人

印象中分子涡轮泵降速应该是很快的，倒是源和四级杆的温度降的慢，到100度差不多需要半小时。下次注意一下。

印象中好像半个小时多点四级杆，离子源温度就降到100以下了，机械泵几分钟就不转了，真空硅上显示常呀，分子涡到没在意，下次注意下。

T家能看到分子泵，完全停转，二十多分钟至少。
不过，温度是默认175度。

应助达人

我们大概要40分钟

应助达人

反正正常关机好像要近半个小时。

应助达人

我们关机需要40分钟以上，主要是降温慢。

应助达人

我们关机不到40分钟。

应助达人

是的，离子源和四级杆降温确实很慢，特别是四级杆更慢，40多分钟以上才能到100度。分子泵也是需要较长时间的。

应助达人

分子泵马上会停止供电，但需要很长时间才能不转了。机械泵是一直在运转直到关闭MS电源。