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JSM6510型扫描电镜测试过程技巧

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 一种导电性较差,粒子很小容易团聚的粉末材料,请问该怎么设置参数能拍的清楚一点,越详细越好,感谢。
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  • rainyweek

    第1楼2016/11/11

    样品尽量进行分散制样,并选择在分散比较好的贴近导电胶的区域拍摄,导电性不好可喷金或低加速电压;设置尽量小一些的工作距离,适当小的束斑半径。

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  • 一颗蒲公英

    第2楼2016/11/13

    关键是有多小那?20nm以下的粒子,6510你就别抱机会了咯。

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  • m3159876

    第3楼2016/11/14

    嗯嗯,一次粒子200纳米差不多吧

    一颗蒲公英(v3009733)发表:关键是有多小那?20nm以下的粒子,6510你就别抱机会了咯。

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  • m3159876

    第4楼2016/11/14

    好的,非常感谢。

    rainyweek(rainyweek)发表:样品尽量进行分散制样,并选择在分散比较好的贴近导电胶的区域拍摄,导电性不好可喷金或低加速电压;设置尽量小一些的工作距离,适当小的束斑半径。

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