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关于扫描的几个小问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 经常用扫描,也用过EPMA,有几个问题想向大家请教一下。
    1.大家都说波谱定量比能谱准,为什么?不是有没有标样的问题。
    2.能谱定量如果取的区域很大,准确度如何?
    3.EPMA拍照太渣,SEM做定量又不准,为啥不把二者结合呢?
    4.感觉SEM配衍射的貌似不多,TEM就很多(只是从我们所的几台仪器得到的感觉),为啥?
    5.SEM定量是不是比TEM更准一些?
    6.都是没有标样的情况下,XRF和EDS比起来,哪个更准一些?
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  • fengyonghe

    第1楼2017/11/06

    1 波谱分辨率高于能谱十几倍;2 扫描区域越大分析结果越接近材质成分,但永不等于;3 SEM也可以配置波谱附件;4 二者衍射分析的原理不同;5 一样;6 前者是宏观结果后者是微观结果,不能比较

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  • 驰奔仪器

    第2楼2017/11/09

    经常用扫描,也用过EPMA,有几个问题想向大家请教一下。
    1.大家都说波谱定量比能谱准,为什么?不是有没有标样的问题。
    2.能谱定量如果取的区域很大,准确度如何?
    3.EPMA拍照太渣,SEM做定量又不准,为啥不把二者结合呢?
    4.感觉SEM配衍射的貌似不多,TEM就很多(只是从我们所的几台仪器得到的感觉),为啥?
    5.SEM定量是不是比TEM更准一些?
    6.都是没有标样的情况下,XRF和EDS比起来,哪个更准一些?
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    WD相对ED除了分辨率高以外,主要峰背比更高,灵敏度高。 具体准不准或者误差多大,看校准情况。
    EDS分析就是针对微区,选区大小,关键看材料均匀程度。
    EMPA和SEM追求不同,使用参变量差别很大,不是想好就能好的。 提高空间分辨率,有场发射EPMA。

    SEM配置EBSD听说挺多的, TEM不是配不配的问题,本身就有这功能
    SEM和TEM定量(EDS?) 决定于EDS
    XRF灵敏度更高,准不准得看你校准的如何

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